24  сен

Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе скачать


Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основеНазвание: Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе
Автор: Папков В.С., Цыбульников М.Б.
Издательство: Энергия
Год: 1979
Страниц: 88
Формат: pdf
Размер: 37 Мб
Качество: хорошее
Язык: русский

Рассматриваются вопросы получения гетероэпитаксиальных структур кремния на сапфире и шпинели и формирования на их основе интегральных схем. Изложены методы выращивания кристаллов сапфира и алюмомагниевой шпинели, а также методы подготовки диэлектрических подложек к гетероэпитаксии. Рассмотрены вопросы получения монокристаллических слоев кремния газотранспортными методами, особенности кристаллического строения и электрофизических свойств кремния на диэлектрических подложках. Книгу завершает материал о приборных разработках. Книга предназначена для широкого круга специалистов, работающих в области производства полупроводниковых приборов и материалов для микроэлектроники.




Скачать Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе







Разместил Palladinparanoik39 в категорию КНИГИ / Аппаратура (книги)
Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе скачали 251 раз






Похожие по теме публикации:


Комментарии:
Добавление комментария

Ваше Имя:
Ваш E-Mail: (необязательно)
  • bowtiesmilelaughingblushsmileyrelaxedsmirk
    heart_eyeskissing_heartkissing_closed_eyesflushedrelievedsatisfiedgrin
    winkstuck_out_tongue_winking_eyestuck_out_tongue_closed_eyesgrinningkissingstuck_out_tonguesleeping
    worriedfrowninganguishedopen_mouthgrimacingconfusedhushed
    expressionlessunamusedsweat_smilesweatdisappointed_relievedwearypensive
    disappointedconfoundedfearfulcold_sweatperseverecrysob
    joyastonishedscreamtired_faceangryragetriumph
    sleepyyummasksunglassesdizzy_faceimpsmiling_imp
    neutral_faceno_mouthinnocent