27  май

Микролитография скачать


МикролитографияНазвание: Микролитография
Автор: Моро У.
Издательство: Мир
Год: 1990
Страниц: 1237
Формат: pdf
Размер: 85 Мб
Язык: русский
Качество: хорошее

Книга крупного американского специалиста по сути представляет собой энциклопедию, посвященную микролитографии, материалам для полупроводниковой технологии и вспомогательным технологическим операциям. В 1-й части рассматриваются различные виды резистов, методы их нанесения, сушки, экспонирования, травления, а также процессы рентгеновской, ионно-лучевой, электронно-лучевой и фотолитографии. Во 2-й части рассматриваются процессы обработки экспонированных резистных структур: проявление, задубливание, травление, методы и возможности безрезистной технологии, методы контроля технологических процессов. Для специалистов по технологии микроэлектроники, студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специальностей.





Скачать книгу Микролитография







Разместил Palladinparanoik39 в категорию КНИГИ / Наука и учёба (книги)
Микролитография скачали 232 раз






Похожие по теме публикации:


Комментарии:
Добавление комментария

Ваше Имя:
Ваш E-Mail: (необязательно)
  • bowtiesmilelaughingblushsmileyrelaxedsmirk
    heart_eyeskissing_heartkissing_closed_eyesflushedrelievedsatisfiedgrin
    winkstuck_out_tongue_winking_eyestuck_out_tongue_closed_eyesgrinningkissingstuck_out_tonguesleeping
    worriedfrowninganguishedopen_mouthgrimacingconfusedhushed
    expressionlessunamusedsweat_smilesweatdisappointed_relievedwearypensive
    disappointedconfoundedfearfulcold_sweatperseverecrysob
    joyastonishedscreamtired_faceangryragetriumph
    sleepyyummasksunglassesdizzy_faceimpsmiling_imp
    neutral_faceno_mouthinnocent