06  дек

Айнспрук Н. Браун Д. - Плазменная технология в производстве СБИС PDF скачать


Айнспрук Н. Браун Д. - Плазменная технология в производстве СБИС PDF

Название: Плазменная технология в производстве СБИС PDF
Автор: Айнспрук Н. Браун Д.
Издательство: Москва, МИР
Год: 1987
Страниц: 471
Формат: PDF
Размер: 70,0 МБ
Язык: Русский

Книга ведущих специалистов из США и Японии, в которой рассмотрены вопросы физики, химии и технологии применения плазменной обработки в производстве СБИС.
Это своеобразная энциклопедия по физики, химии процессов осаждения, литографии и травления с применением ионно плазменных методов.
Книга предназначена для специалистов в области физики и химии плазмы, технологии микроэлектроники, а также для студентов соответствующих специальностей.
В книге рассмотрены вопросы напыления тонких пленок различных соединений. Достаточно подробно рассмотрены вопросы химического и плазмохимического осаждения тонких диэлектрических пленок, в том числе нитрида и оксида кремния. Описаны физические и химические процессы реактивного и ионного травления, особое внимание уделено технологическим аспектам процессов производства СБИС.


Скачать: Плазменная технология в производстве СБИС PDF







Разместил In32s в категорию КНИГИ / Техника (книги)
Айнспрук Н. Браун Д. - Плазменная технология в производстве СБИС PDF скачали 3 раз






Похожие по теме публикации:


Комментарии:
Добавление комментария

Ваше Имя:
Ваш E-Mail: (необязательно)
  • bowtiesmilelaughingblushsmileyrelaxedsmirk
    heart_eyeskissing_heartkissing_closed_eyesflushedrelievedsatisfiedgrin
    winkstuck_out_tongue_winking_eyestuck_out_tongue_closed_eyesgrinningkissingstuck_out_tonguesleeping
    worriedfrowninganguishedopen_mouthgrimacingconfusedhushed
    expressionlessunamusedsweat_smilesweatdisappointed_relievedwearypensive
    disappointedconfoundedfearfulcold_sweatperseverecrysob
    joyastonishedscreamtired_faceangryragetriumph
    sleepyyummasksunglassesdizzy_faceimpsmiling_imp
    neutral_faceno_mouthinnocent