06  дек

Луфт Б.Д. (ред.) - Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников скачать


Луфт Б.Д. (ред.) - Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников

Название: Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников
Автор: Луфт Б.Д. (ред.)
Издательство: Радио и связь
Год: 1982
Страниц: 134
Формат: DjVu
Размер: 20,4 МБ
Язык: Русский

Изложены основы различных химических и физико-химических методов обработки поверхности полупроводников. Описаны методы химико-механического, химико-динамического и плазмохимического травления и полирования монокристаллических подложек из кремния, германия и соединений А3В5, а также химические и электрохимические методики локального травления полупроводников, препарирования кристаллов и эпитаксиальных структур. Систематизированы методы межоперационной и финишной очистки полупроводников от различных загрязнений.


Скачать: Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников







Разместил In32s в категорию КНИГИ / Техника (книги)
Луфт Б.Д. (ред.) - Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников скачали 2 раз






Похожие по теме публикации:


Комментарии:
Добавление комментария

Ваше Имя:
Ваш E-Mail: (необязательно)
  • bowtiesmilelaughingblushsmileyrelaxedsmirk
    heart_eyeskissing_heartkissing_closed_eyesflushedrelievedsatisfiedgrin
    winkstuck_out_tongue_winking_eyestuck_out_tongue_closed_eyesgrinningkissingstuck_out_tonguesleeping
    worriedfrowninganguishedopen_mouthgrimacingconfusedhushed
    expressionlessunamusedsweat_smilesweatdisappointed_relievedwearypensive
    disappointedconfoundedfearfulcold_sweatperseverecrysob
    joyastonishedscreamtired_faceangryragetriumph
    sleepyyummasksunglassesdizzy_faceimpsmiling_imp
    neutral_faceno_mouthinnocent