Название: Технология материалов электронной техники. Теория процессов полупроводниковой технологии (2-е изд.)
Автор: Крапухин В.В., Соколов И.А., Кузнецов Г.Д.
Издательство: МИСИС
Год: 1995
ISBN: 5-87623-004-9
Страниц: 493
Формат: DjVu, PDF
Размер: 34,2 МБ
Язык: Русский

Представлены общие положения термодинамики необратимых процессов; закономерности диффузии и термокинетики в неподвижной и движущейся средах, макрокинетики гетерогенных процессов; математическое описание двухфазных равновесий; Р—Т-х диаграммы состояния, их проекции и сечения. Рассмотрены материальный баланс, термодинамика и кинетика широко используемых процессов получения материалов из паровой, парогазовой и жидкой фаз. На атомно-молекулярном уровне описана кинетика процессов получения эпитаксиальных слоев, пленок и монокристаллов. Впервые изложены методы нетермической активации и плазмохимические процессы, причины возникновения дефектов при ионном воздействии на материалы.

Название: Численное моделирование микроэлектронных структур
Автор: Мулярчик С.Г.
Издательство: Университетское
Год: 1989
ISBN: ISBN 5-7855-0045-0
Страниц: 368
Формат: DjVu, PDF
Размер: 30,4 МБ
Язык: Русский

Монография посвящена вопросам постановки, методам и алгоритмам решения задачи численного моделирования микроэлектронных структур. Содержит обобщающее введение в проблему получения математических моделей полупроводниковых структур, берущую свое начало в закономерностях электромагнитных процессов, выраженных уравнениями Максвелла. Главное внимание уделяется аспектам автоматизации численного моделирования, созданию вычислительного инструментария проверки модельных технолого-конструктивных решений. Результаты теоретических исследований иллюстрируются большим количеством примеров и рисунков.

Название: Физико-химические основы производства радиоэлектронной аппаратуры (2-е изд. перераб.и доп)
Автор: Иванов-Есипович Н.К.
Издательство: М.: Высшая школа
Год: 1971
Страниц: 105 (205, по 2 стр. на развороте)
Формат: DjVu, PDF
Размер: 15,6 МБ
Язык: Русский

Вопросы технологии основного производства радиоэлектронной аппаратуры рассмотрены в книге с позиций физико-химической природы технологического воздействия на исходные материалы и заготовки. Применена новая (в отличие от первого издания 1965 г.) систематизация специфических для отрасли физико-химических технологических процессов, объединяющая их в четыре класса: термические и термохимические, химические и электрохимические, вакуумные, печатные и покровные технологические процессы. Каждый класс рассмотрен на базе обширного фактического материала.

Название: Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников
Автор: Луфт Б.Д. (ред.)
Издательство: Радио и связь
Год: 1982
Страниц: 134
Формат: DjVu
Размер: 20,4 МБ
Язык: Русский

Изложены основы различных химических и физико-химических методов обработки поверхности полупроводников. Описаны методы химико-механического, химико-динамического и плазмохимического травления и полирования монокристаллических подложек из кремния, германия и соединений А3В5, а также химические и электрохимические методики локального травления полупроводников, препарирования кристаллов и эпитаксиальных структур. Систематизированы методы межоперационной и финишной очистки полупроводников от различных загрязнений.

Название: Физика и технология микро - и наносистем. Сборник научных трудов трудов
Автор: Лучинин В.В.
Издательство: СПб.: Русская коллекция
Год: 2011
ISBN: 978-5-901440-72-8
Страниц: 240
Формат: PDF
Размер: 7,8 МБ
Язык: Русский

Сборник посвящен 65-летию кафедры микро- и наноэлектроники СПбГЭТУ «ЛЭТИ» и содержит материалы по истории кафедры и основным научно-образовательным направлениям ее деятельности.

Название: Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
Автор: Курносов А.И., Юдин В.В.
Издательство: Высшая школа
Год: 1986
Страниц: 368
Формат: DjVu, PDF
Размер: 19,3 МБ
Язык: Русский

В книге описаны основные и углубленные знания о полупроводникак и о полупроводниковой технике. Основные технологические процессы производства. В 3-е издание введены новые разделы, посвещенные радиационой обработке матерьалов и приборов, новейшим конструкиям корпусов интегральных микросхем, а также полупроводниковым материалам.

Название: Проектирование цифровых систем на комплектах микропрограммируемых БИС
Автор: Колесникова В.Г. (ред.)
Издательство: М.: Радио и связь
Год: 1984
Страниц: 241
Формат: DjVu, PDF
Размер: 13,0 МБ
Язык: Русский

В этой книге освещены фундаментальные вопросы теории, проектирования и технической реализации цифровых систем на комплектах микропрограммируемых микропроцессорных БИС. В книге изложены методы генерации и оценки проектных решений структурно-алгоритмического этапа проектирования систем. Детально приведен комплект микропроцессорных БИС К1804. книга представляет собой интерес для инженерно-технических работников, разрабатывающих аппаратуру на основе комплектов микропроцессорных БИС.

Название: Полупроводниковые БИС запоминающих устройств. Справочник
Автор: Баранов В.В. и др.
Издательство: М.: Радио и связь
Год: 1987
Страниц:
Формат: DjVu, PDF
Размер: 12,4 МБ
Язык: Русский

Приведены классификация и справочные данные выпускаемых промышленностью больших интегральных схем запоминающих устройств широкого применения. Проанализированы режимы работы, особенности эксплуатации и даны рекомендации по их применению.
Для инженерно-технических работников, связанных с разработкой и применением электронной вычислительной аппаратуры.

Название: Плазменная технология в производстве СБИС PDF
Автор: Айнспрук Н. Браун Д.
Издательство: Москва, МИР
Год: 1987
Страниц: 471
Формат: PDF
Размер: 70,0 МБ
Язык: Русский

Книга ведущих специалистов из США и Японии, в которой рассмотрены вопросы физики, химии и технологии применения плазменной обработки в производстве СБИС.
Это своеобразная энциклопедия по физики, химии процессов осаждения, литографии и травления с применением ионно плазменных методов.
Книга предназначена для специалистов в области физики и химии плазмы, технологии микроэлектроники, а также для студентов соответствующих специальностей.
В книге рассмотрены вопросы напыления тонких пленок различных соединений.

Название: Объемные интегральные схемы СВЧ
Автор: Гвоздев В. И., Нефедов В. И.
Издательство: Наука
Год: 1985
Страниц: 130(256)
Формат: DjVu, PDF
Размер: 19,9 МБ
Язык: русский

В книге дано систематическое изложение теории и применений объемных интегральных схем (ОИС) СВЧ. Показана логичность и закономерность перевода СВЧ модулей радиоэлектронной аппаратуры на ОИС, представляющие качественно новый этап развития радиоэлектроники. Основное внимание уделено описанию физических процессов, созданию удобных и наглядных эквивалентных схем, методам расчета матриц рассеяния базовых элементов ОИС, используемых в системах автоматизированного проектирования ОИС СВЧ.

Для научных работников и инженеров-проектировщиков СВЧ техники, радиофизиков, специалистов по вычислительной математике и электродинамике, а также аспирантов и студентов старших курсов радиофизических и радиотехнических специальностей.