Луфт Б.Д. (ред.) - Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников

Название: Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников
Автор: Луфт Б.Д. (ред.)
Издательство: Радио и связь
Год: 1982
Страниц: 134
Формат: DjVu
Размер: 20,4 МБ
Язык: Русский

Изложены основы различных химических и физико-химических методов обработки поверхности полупроводников. Описаны методы химико-механического, химико-динамического и плазмохимического травления и полирования монокристаллических подложек из кремния, германия и соединений А3В5, а также химические и электрохимические методики локального травления полупроводников, препарирования кристаллов и эпитаксиальных структур. Систематизированы методы межоперационной и финишной очистки полупроводников от различных загрязнений.

Лучинин В.В. - Физика и технология микро - и наносистем. Сборник научных трудов трудов

Название: Физика и технология микро - и наносистем. Сборник научных трудов трудов
Автор: Лучинин В.В.
Издательство: СПб.: Русская коллекция
Год: 2011
ISBN: 978-5-901440-72-8
Страниц: 240
Формат: PDF
Размер: 7,8 МБ
Язык: Русский

Сборник посвящен 65-летию кафедры микро- и наноэлектроники СПбГЭТУ «ЛЭТИ» и содержит материалы по истории кафедры и основным научно-образовательным направлениям ее деятельности.


Курносов А.И., Юдин В.В. - Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем

Название: Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
Автор: Курносов А.И., Юдин В.В.
Издательство: Высшая школа
Год: 1986
Страниц: 368
Формат: DjVu, PDF
Размер: 19,3 МБ
Язык: Русский

В книге описаны основные и углубленные знания о полупроводникак и о полупроводниковой технике. Основные технологические процессы производства. В 3-е издание введены новые разделы, посвещенные радиационой обработке матерьалов и приборов, новейшим конструкиям корпусов интегральных микросхем, а также полупроводниковым материалам.

Колесникова В.Г. (ред.) - Проектирование цифровых систем на комплектах микропрограммируемых БИС

Название: Проектирование цифровых систем на комплектах микропрограммируемых БИС
Автор: Колесникова В.Г. (ред.)
Издательство: М.: Радио и связь
Год: 1984
Страниц: 241
Формат: DjVu, PDF
Размер: 13,0 МБ
Язык: Русский

В этой книге освещены фундаментальные вопросы теории, проектирования и технической реализации цифровых систем на комплектах микропрограммируемых микропроцессорных БИС. В книге изложены методы генерации и оценки проектных решений структурно-алгоритмического этапа проектирования систем. Детально приведен комплект микропроцессорных БИС К1804. книга представляет собой интерес для инженерно-технических работников, разрабатывающих аппаратуру на основе комплектов микропроцессорных БИС.

Баранов В.В. и др. - Полупроводниковые БИС запоминающих устройств. Справочник

Название: Полупроводниковые БИС запоминающих устройств. Справочник
Автор: Баранов В.В. и др.
Издательство: М.: Радио и связь
Год: 1987
Страниц:
Формат: DjVu, PDF
Размер: 12,4 МБ
Язык: Русский

Приведены классификация и справочные данные выпускаемых промышленностью больших интегральных схем запоминающих устройств широкого применения. Проанализированы режимы работы, особенности эксплуатации и даны рекомендации по их применению.
Для инженерно-технических работников, связанных с разработкой и применением электронной вычислительной аппаратуры.

Айнспрук Н. Браун Д. - Плазменная технология в производстве СБИС PDF

Название: Плазменная технология в производстве СБИС PDF
Автор: Айнспрук Н. Браун Д.
Издательство: Москва, МИР
Год: 1987
Страниц: 471
Формат: PDF
Размер: 70,0 МБ
Язык: Русский

Книга ведущих специалистов из США и Японии, в которой рассмотрены вопросы физики, химии и технологии применения плазменной обработки в производстве СБИС.
Это своеобразная энциклопедия по физики, химии процессов осаждения, литографии и травления с применением ионно плазменных методов.
Книга предназначена для специалистов в области физики и химии плазмы, технологии микроэлектроники, а также для студентов соответствующих специальностей.
В книге рассмотрены вопросы напыления тонких пленок различных соединений.

Гвоздев В. И., Нефедов В. И. - Объемные интегральные схемы СВЧ

Название: Объемные интегральные схемы СВЧ
Автор: Гвоздев В. И., Нефедов В. И.
Издательство: Наука
Год: 1985
Страниц: 130(256)
Формат: DjVu, PDF
Размер: 19,9 МБ
Язык: русский

В книге дано систематическое изложение теории и применений объемных интегральных схем (ОИС) СВЧ. Показана логичность и закономерность перевода СВЧ модулей радиоэлектронной аппаратуры на ОИС, представляющие качественно новый этап развития радиоэлектроники. Основное внимание уделено описанию физических процессов, созданию удобных и наглядных эквивалентных схем, методам расчета матриц рассеяния базовых элементов ОИС, используемых в системах автоматизированного проектирования ОИС СВЧ.

Для научных работников и инженеров-проектировщиков СВЧ техники, радиофизиков, специалистов по вычислительной математике и электродинамике, а также аспирантов и студентов старших курсов радиофизических и радиотехнических специальностей.

Минайчев В.Е. - Нанесение пленок в вакууме. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 6

Название: Нанесение пленок в вакууме. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 6
Автор: Минайчев В.Е.
Издательство: Высшая школа
Год: 1989
ISBN: 5-06-000308-6
Страниц: 111
Формат: DjVu, PDF
Размер: 10,3 МБ
Язык: Русский

Рассмотрены вопросы нанесение пленок методами термического испарения, ионно-плазменного распыления; контроль параметров пленок и технологических режимов их нанесения; оборудование для нанесения пленок; электровакуумная гигиена и техника безопасности.

Ефимов И.Е., Козырь И.Я., Горбунов Ю.И. - Микроэлектроника. Проектирование, виды микросхем, функциональная микроэлектроника

Название: Микроэлектроника. Проектирование, виды микросхем, функциональная микроэлектроника
Автор: Ефимов И.Е., Козырь И.Я., Горбунов Ю.И.
Издательство: Высшая школа
Год: 1987
Страниц: 416
Формат: DjVu, PDF
Размер: 16,5 МБ
Язык: Русский

В книге рассмотрены особенности разработки, принципы расчета и проектирования различных классов ИМС и БИС, дан анализ элементной базы современной микроэлектроники и важнейших типов ИМС, приведена методика расчета надежности ИМС.

Гаврилов С. Н., Никулин С. М. - Микроэлектроника

Название: Микроэлектроника
Автор: Гаврилов С. Н., Никулин С. М.
Издательство: Энергия
Год: 1970
Страниц: 79
Формат: DjVu, PDF
Размер: 10,6 МБ
Язык: Русский

В брошюре рассказано об основных проблемах и методах интегральной микроэлектроники и перспективах ее развития.
Брошюра рассчитана на широкий круг радиолюбителей.